सामग्री र सिरेमिक सब्सट्रेट को विशेषताहरु

टेक्नोलोजीको प्रगति, विकास, अपरेटिंग वर्तमान, कार्यको तापमान, कार्यको तापमान र उपकरणहरूमा फ्रिक्वेन्सी बिस्तारै उच्च हुँदै गइरहेको छ। उपकरण र सर्किटहरूको निर्भरता पूरा गर्न, चिप क्यारियरहरूको लागि उच्च आवश्यकताहरू अगाडि बढाइएको छ। सिरेटिल सब्सट्रेटहरू उनीहरूको उत्कृष्ट थर्मल गुणहरू, माइक्रोवेभ गुणहरू, मेकानिकल गुणहरू र उच्च विश्वसनीयताका कारण प्रयोग गरिन्छ।

वर्तमानमा सिरेमिक सब्सट्रेटमा प्रयोग गरिएको मुख्य सिरेमिक सामग्रीहरू: एल्युमिना (एल्स्निन नाइट्रिड (एएनएनओ), सिलिकन एनआईडीआईडी ​​(बेओ) र बेरो)।

अवास्तविक लगातार पाउडर समाप्त गर्नको लागि

MA टेरियल	शुद्धता	थर्मल संकुचितता (W / KM)	सापेक्ष इलेक्ट्रिकल लगातार	अहिल्यै विघटनशील क्षेत्र तीव्रता (KV / MM ^ (1))	संक्षिप्त कमसेक एनटी
Al2	Al299	%	9 ..7	10	उत्तम लागत प्रदर्शन, धेरै व्यापक अनुप्रयोगहरू
अल्ना	99%	1 1500	8.9	15	उच्च प्रदर्शन, तर उच्च लागत
बेओ	% 99%	300.4	10	अत्यधिक	विषाक्तसँग ,
SI3N4	99%	106	9 9.4	100	लाई
कम	-	फ्रिक्वेन्सी	अनुप्रयोगहरूको	लागि	मात्र फिट

वस्तुहरूको समाधानका लागि यी 5 उन्नत उन्नत ढाँचाहरू हेर्नुहोस्।

1. एलिमिना (Al2O3)

Al2o3 होमोजेन्यौं पोलिसीस्टेस्टहरू 10 भन्दा बढी प्रकारका पुग्न सक्दछ, र मुख्य क्रिस्टल प्रकारहरू निम्नानुसार छन्: α-Al2o3, γ-Al2O3, γ-Al2o3, γ-Al2o3, γ-Al2o3, γ-Al2o3, γ-Al2o3, γ-Al2o3, γ-Al2o3, γ-Al2o3 र ZT2o3 र ZTA-Al2o3। ती मध्ये, α Al2O3 सँग सब भन्दा कम गतिविधि छ र चार मुख्य क्रिस्टल फारमहरूमा सबैभन्दा स्थिर छ, र यसको एकाइको सेल एक पोइन्ट सेल एक पोइन्ट गरिएको रोमोर्डिनन हो, हेक्स्टअनल क्रिस्टल प्रणालीको सम्बन्धित। α-Al2o3 संरचना कडा, कन्दरम संरचना हो, सबै तापक्रममा अशक्त हुन सक्छ; जब तापमान 1000 ~ 10000 डिग्री सेल्सियस पुग्छ, अन्य भेरियन्ट्स अपरिवर्तनीय रूपमा α-Al2o3 मा रूपान्तरण हुनेछ।

चित्र 1: एसएम अन्तर्गत अल्डिंगल माइक्रोस्ट्रपर

Al2o3 सामूहिक अंशको बृद्धिको साथ र सम्बन्धित गिलास चरणको अंशको कमी, एल्बो3 मास सिमेन्टिकको थर्मल संकुचित हुन्छ, र जब मास अंश हो भने यसको थर्मल संकुचन दोब्बर हुन्छ % 0%।

यद्यपि अल्बोइको जन अंश बढाउन सिरमिक्सको समग्र प्रदर्शन सुधार गर्न सक्दछ, यसले सेरामरेक्टिकहरूको घाइते तापमान पनि बढाउँदछ, जसले अप्रत्यक्ष रूपमा उत्पादन लागत मा वृद्धि गर्दछ।

2. एल्युमिनियम नाइट्रिड (Aln)

Aln एक प्रकारको समूह हो ⅲ-v WURTZAitE संरचनाको साथ। यसको एकाई सेल एल्बन टेट्रोड्रन हो, जुन हेक्सागाल क्रिस्टल प्रणालीमा सम्बन्धित छ र कडा कल्पित बन्धन छ, त्यसैले यो उत्कृष्ट मेकानिकल गुणहरू र उच्च झुकाव हुने शक्ति छ। सैद्धान्तिक रूपमा, यसको क्रिस्टल घनत्व 3..2611G / सेमी rumber छ, त्यसैले यसको उच्च थारन क्रिस्टल छ, र तातो-प्रेस गरिएको अल्फनको थर्मीय संकुचित छ, र तातो-प्रेस गरिएको अल्फनको थर्मीय संकुचित छ, र तातो-प्रेस गरिएको अल्फनको थर्मल संकुचित छ, र तातो-प्रेस गरिएको अलनको थर्मल संकुचित छ भने, र तातो-प्रेस गरिएको अलनको थर्मल संकुचित छ, र तातो-थियरिटेड फेर्ने अल्नकोशको थर्मल संकुचित छ, र तातो-प्रेस गरिएको अल्फनको थर्मल संकुचित छ। सब्सट्रेट 1 1500W / (M · k) पुग्न सक्छ, जुन Al2O3 को times पटक भन्दा बढी हो। थर्मल विस्तार गुणांक 3..8 × 10--6 ~ ~ × 10--6 / ℃, जुन SI, SIC र GAS जस्ता अर्धवत विस्तारको गुणा खास छ।

चित्र 2: एल्युमिनियम नाइट्रिडरको पाउडर

अल्ना सिरमिकमा अल्बो ment सिरेन्क्स भन्दा उच्च थर्मल संकुचित छ, जसले बिस्तारै उच्च पावर पावर इलेक्ट्रोनिक्स र विस्तृत अनुप्रयोगको सम्भावनालाई भुक्तान गर्दछ। एल्राम सिमेन्टिकहरू पनि उनीहरूको कम माध्यमिक इलेक्ट्रोन उत्सर्जनको गुणाका कारण पावर भ्याकुरिक उपकरणहरूको लागि रुचाइएको सामग्रीको रूपमा पनि विचार गरीन्छ।

S. सिलिकन नाइट्रिड (SI3N4)

Si3n4 एक s क्रिस्टल संरचनाहरूको साथ एक करिब बन्धन कम्पाउन्ड हो: α-Si3n4, β-Si3n4, र γ-Si3n4। ती मध्ये एक-si3n4 र-si3n4 हो, हेक्सागोनल संरचनाको साथ। एकल क्रिस्टल SI3N4 को थर्मल संकुचन 400W / (M · k) पुग्न सक्छ। यद्यपि यसको फोनोन गर्मी सरुवाको कारण त्यहाँ ल्याटिस त्रुटिहरू छन् जस्तै रिक्त पद र निष्पक्षले फोनोन स्न्याइक्टिभको कारण 20w / (M · k) को बारेमा छ भने । अनुपात र पापीनेरिंग प्रक्रियालाई अनुकूलित गरेर, थर्मल कम्युनिटीवित्तविद् 106W / (m · k) पुगेको छ। Si3n4 को थर्मल विस्तार गुणांक लगभग 3.0.0 × 10-6 / सी हो, जुन उच्च थर्मल संकुचन इलेक्ट्रॉनिक उपकरणहरूको लागि राम्रो छ।

चित्र :: सिलिकन नाइट्रिडको पाउडर

अवस्थित केन्द्रहरूको सुव्यवचनहरू मध्ये, एसआई श्री सिमेन्टन सिरेमिक सब्सट्रेटहरू अत्यन्त उच्चतम गुणहरू, उच्च तापमान प्रतिरोध र थर्मिल स्थिरता, कम गुणा प्रेषुमेन्ट, प्रतिरोधको कमी छ, प्रतिरोध र प्रतिरोधको प्रतिरोध वर्तमानमा, यो आईजीबब्रु मोड्युल प्याकेजिंगमा मनपर्ने छ र बिस्तारै एल्बो and र अल्-र अल्न सिरेमिक सब्सट्रेट्स प्रतिस्थापन गर्दछ।

W.SILICICON Carbide (SIC)

एकल क्रिस्टल साइज तेस्रो पुस्ता सेमिटिटोन्डुनिक सामग्रीको रूपमा चिनिन्छ, जसमा ठूलो ब्यान्ड फाटोज, उच्च थारुल संकुचित गति र उच्च इलेक्ट्रोनिक संचालित गति हुन्छ।

यसको थोरै मात्रामा बेओ र B2O3 थपेर यसको प्रतिरोधी अवस्थालाई बढाउन तातो प्रेषणको पात्रको प्रयोग गरेर, तपाईं तातो कार्यभार थपहरू थप्दै, तपाईं 98% भन्दा बढी आकारको साइज सिमेन्टिक्स भन्दा बढीको घनत्व तयार गर्न सक्नुहुन्छ। विभिन्न पामारिंग विधिहरू र थप शुद्ध शुद्धताको साथ SIC पवित्रता को थर्मल संचालित किनभने SIC CINRIMICE को उत्तर प्रेषनिक स्थिर छ, कम-फ्रिक्वेन्सी अनुप्रयोगहरूको लागि मात्र उपयुक्त छ, र उच्च फ्रिक्वेन्सी आवेदनहरूको लागि उपयुक्त छैन।

Be। बेरियालोलिया (बेओ)

बेको वार्टज्ड संरचना हो र सेल क्युबिक क्रिस्टल प्रणाली हो। यसको थर्मल सवारीविश्वास धेरै उच्च छ, बेओ गोओ सिररमिक्स, कोठाको तापक्रम, यसको थर्मल संकुचित (थर्मल कम्युनिटी) मा 12010000 को थर्मल संकुचित छ, जुन लगभग 10 गुणा सीरराइक्स। केवल एक धेरै उच्च तटेल ट्रान्सफर क्षमता मात्र छैन, तर कम डाईलेक्ट्रिक स्थिरता र उच्च इन्सुलेशन र मेकानिकल उपकरणहरू, बेओ रैतिक संचालन र बेओ चिराइक्टिक्सहरू उच्च थर्मल संकुचित र आवश्यक छ।

चित्र :: Beylllia को क्रिस्टल संरचना

बेकोका उच्च थर्मल संकुचन र कम घाटाको विशेषताहरू र अन्य सिरेमिक सामग्रीहरू द्वारा अनमोल गरिएको छ, तर बेओ धेरै विषाक्तता छ, र यसको पाउडर अत्यन्त विषाक्त छ।

वर्तमानमा, चीनमा प्राय: प्रयोग गरिएको सिरमिकल सब्सट्रेट सामग्रीहरू मुख्यतया Al2o3, Aln र si3n4 हुन्। LTCCC प्रविधि द्वारा बनाइएको सिडमिकल सब्टिन्टहरूले डिस्करीहरू, क्यापिसिटल संरचनामा समायोजन, क्यापिटेटरहरू र चलाखीहरू एकीकृत गर्न सक्दछन्। अर्ध मजदुरहरूको समायोजनको विपरित, जुन मुख्य रूपमा सक्रिय उपकरणहरू हुन्, एलटीटीसीईमा उच्च घनत्व 3 डी विन्टर crizence ्गको क्षमता छ।